Datasheet

Serie PFMB
Serie
12 0.2 0.5 5 10 20 25 50 100 150 200 300 500 600 1000 2000 3000 6000 12000
zulässiger Durchfluss [L/min]
0.5 25
1
50
2
100
2
200
5
500
10 1000
1
10
550
10 100
20 200
50 500
150 3000
300 6000
600
12000
0.2
10
−0.5 0.5
Serie
kleinste
Einstelleinheit
kleinste
Einstelleinheit
Erfassungs-
methode
verwendbare
Medien
Erfassungs-
methode
verwendbare
Medien
Thermo-
Ausführung
(MEMS)
Thermo-
Ausführung
(MEMS)
Druckluft
N2
Druckluft
N2
Argon
CO2
Druckluft
N2
0.1 L/min
0.5 L/min
1 L/min
2 L/min
5 L/min
5 L/min
10 L/min
Thermo-
Ausführung
(MEMS)
Bypass-
Durchfluss-
Ausführung
Thermo-
Ausführung
(Thermistor)
Druckluft
N2
0.1 L/min
0.01 L/min
1 L/min
123−3 −2 −1 -0.5 0 0.5
zulässiger Durchfluss [L/min]
PFMV
PFM
PF2A
PFMB
−1
−3
1
3
1
1
5
2
1
5
2
0.2
.
2
1
1
5
2
5
3
6
120
00
0
3
3
1
5
0
01
0
1
03
0
3
0 0.5
0
0
Variationen der Durchflussschalter
neuneu
Merkmale 3